➤白光干涉仪中图仪器,光学3D表面轮廓测量仪属于仪器仪表中的光学仪器中的干涉仪类

中图仪器SuPErViewW1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

大尺寸样品_拼接测量

产品功能

1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

核心指标

1、Z向分辨率：0.1nm；

2、Z向扫描范围：10.3mm；

3、XY水平位移台：电动手动均可调节；

4、自动化功能：自动单区域测量、自动多区域测量、多区域定位自动搜索测量、自动拼接测量；

5、防撞保护：软件设置防撞、硬件传感器防撞；

应用领域

白光干涉仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。