性能:耐强腐蚀,低本底
优点:无溶出无析出,表面光洁无毛刺
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➤国产蚀刻机用4寸PFA花篮6寸芯片硅片承载器2寸晶圆载具耐强酸强碱属于化工中的实验室器皿中的其他实验器皿类
国产蚀刻机用4寸PFA花篮6寸芯片硅片承载器2寸晶圆载具耐强酸强碱
PFA花篮 / IC专用盒 / 包装盒 / 承载器 / 晶舟盒 / 晶圆载具
应用实验:半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
PFA花篮的性能优势:
1.耐强酸、强碱和各种有机溶剂
2.金属元素空白值低
3.无溶出和析出
4.耐候性佳、不易应力变形
5.耐磨、抗静电性
6.有优良的化学稳定性